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晶圓高低溫系統

簡要描述:PTXF晶圓高低溫系統的冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器(部分設備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。

  • 產品型號:PTXF
  • 產品產地:上海
  • 更新時間:2025-03-27
  • 訪  問  量:2714

詳細介紹

設備簡介

PTXF系列高溫循環(huán)器主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。加熱循環(huán)系統包括循環(huán)泵、電加熱、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器(部分設備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統采用PID控制技術,高清顯示屏,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的加熱冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。

設備特點

全密閉系統:采用全密閉式系統設計,整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,導熱油不會直接與空氣接觸,延長了導熱油使用壽命同時確保系統運行的穩(wěn)定性,膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài),高溫時無油霧產生。

高效換熱系統:系統采用管道式加熱冷卻,參與循環(huán)的液體非常少,制冷采用板式換熱器,加熱采用管道式法蘭加熱器,整個系統的容積(板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內容積+循環(huán)管路容積)     

控制結果重復性:基于高級動態(tài)控制系統,同時采用進口鉑電阻溫度傳感器,每次都能實現一致的控制結果,大大提升產品生產的穩(wěn)定性。

產品外觀:外觀設計吸取國外進口產品的設計理念,采用大口徑石英玻璃液位計,液位計與操作屏放在同一側,觀察方便,風格簡約時尚,比列協調,專有的色彩搭配。

超高溫降溫技術:采用超高溫降溫技術,可以滿足350高溫直接通入冷卻水實現快速降溫。

質量保障:所有的關鍵部件均選用進口品牌,確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發(fā)貨前均經過嚴格測試與檢驗,確保設備到客戶現場不會出現任何問題。

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